Heterogene integratie op chips
Imec ontwikkelt microsystemen (MEMS) waarin niet-elektronische functies (mechanische of optische) geïntegreerd worden in een chip om zo de mogelijkheden van de chip uit te breiden. MEMS kunnen gebruikt worden in intelligente sensoren, actuatoren, systemen die omgevingsenergie omzetten in vermogen, biochips, micro-implantaten, zonnecellen, ...
Galliumnitride (GaN) wordt gebruikt bij de ontwikkeling van lichtemitterende diodes (LED’s) maar ook in systemen die werken bij hoog vermogen en met hoge efficiëntie (RF-systemen).
CMORE is een service die imec aan de industrie aanbiedt voor ontwikkeling à la carte, prototyping en laag-volume productie van producten die heterogene integratie vereisen. Imec beschikt hiervoor over een zeer uitgebreide expertise, bijvoorbeeld in betrouwbaarheidsonderzoek van MEMS en ultrageavanceerde infrastructuur met een 200mm-cleanroom voorzien voor geavanceerde verpakkingstechnologieën en 3D-integratie, een 0,13µm CMOS procesplatform en een veelzijdig silicium-germanium op silicium MEMS procesplatform. Op vraag staat ook de 300mm-cleanroom ter beschikking.